面阵(矩阵)相控阵探头的使用
用一个面阵(矩阵)相控阵探头代替普通线阵相控阵探头。与普通线性相控阵探头不同,元件的电子分组可以在两个维度中完成,如下图所示。通过将一定数量的阵元组合在一起,不仅可以将声束聚焦到具有转向能力的小光斑中,而且还可以改变焦距和深度。更利于发挥相控阵检测的最大优点之一,具有可预测声束操作的电子扫描能力。面阵(矩阵)相控阵探头可以使电子扫描在纵向和横向上更有效,速度更快。
(a) 线阵相控阵探头
(b) 面阵相控阵探头
面阵相控阵探头的优点:
• 增加检测小缺陷的能力;
• 提高检测和测量横向缺陷的能力;
• 聚焦方式灵活,适用范围更广;
• 针对复杂工件,提高检测速度;
• 减少相控阵探头数量和降低成本。